Заводи комплексии хеле калон-микьёси 909 лоихаи асосии сохтмони саноати электроникаи мамлакатам мебошад, ки дар панчсолаи нухум барои истехсоли микросхемахои бари хатти 0,18 микрон ва диаметраш 200 миллиметр мебошад.
Технологияи истехсоли микросхемахои хеле калонхачми интегралй на танхо технологияхои хеле дакик, аз кабили микромеханикро дарбар мегирад, балки ба тозагии газ низ талабхои баланд мегузорад.
Таъмини умумии газ барои Лоиҳаи 909 аз ҷониби як корхонаи муштараки Praxair Utility Gas Co., Ltd.-и Иёлоти Муттаҳида ва ҷонибҳои дахлдор дар Шанхай барои таъсиси якҷояи як корхонаи истеҳсоли газ таъмин карда мешавад. Корхонаи истеҳсоли газ дар паҳлӯи корхонаи лоиҳаи 909 ҷойгир аст. бино, ки майдони такрибан 15000 метри мураббаъро ишгол мекунад. Талаботи тозагӣ ва баромади газҳои гуногун
Нитрогени тоза (PN2), нитроген (N2) ва оксигени тоза (PO2) бо роҳи ҷудокунии ҳаво истеҳсол карда мешавад. Гидрогени тозаи баланд (PH2) тавассути электролиз тавлид мешавад. Аргон (Ар) ва гелий (He) аз берун харида мешаванд. Квазигаз барои истифода дар Лоиҳаи 909 тоза ва филтр карда мешавад. Гази махсус дар шишаҳо дода мешавад ва шкафи шишаи газ дар цехи ёрирасони заводи истеҳсоли схемаҳои интегралӣ ҷойгир аст.
Дигар газҳо инчунин системаи ҳавои хушки фишурдашудаи CDA-ро дар бар мегиранд, ки ҳаҷми истифодабарии 4185м3/соат, нуқтаи шабнам фишори -70°C ва андозаи зарраҳои газ дар нуқтаи истифода на бештар аз 0,01um аст. Системаи нафаскашии ҳавои фишурда (БА), ҳаҷми истифода 90м3/соат, нуқтаи шабнам фишор 2℃, андозаи зарраҳо дар газ дар нуқтаи истифода аз 0,3um зиёд нест, системаи протсесси вакууми (PV), ҳаҷми истифода 582м3/соат, дараҷаи вакуум дар нуқтаи истифода -79993Pa. Системаи чангкашакҳои тозакунӣ (HV), ҳаҷми истифода 1440м3/соат, дараҷаи вакуум дар нуқтаи истифода -59995 Па. Ҳуҷраи компрессори ҳавоӣ ва утоқи насоси вакуумӣ ҳарду дар ҳудуди корхонаи лоиҳаи 909 ҷойгир шудаанд.
Интихоби маводи қубур ва лавозимот
Газе, ки дар истеҳсоли VLSI истифода мешавад, талаботи бениҳоят баланди тозагӣ дорад.Газопроводхои соф баландодатан дар муҳити тозаи истеҳсолӣ истифода мешаванд ва назорати тозагии онҳо бояд ба сатҳи тозагии фазои истифодашаванда мувофиқ ё баландтар бошад! Илова бар ин, қубурҳои гази тозаи баланд аксар вақт дар муҳити тозаи истеҳсолӣ истифода мешаванд. Гидрогени тоза (PH2), оксигени тоза (PO2) ва баъзе газҳои махсус газҳои оташгиранда, тарканда, сӯзишворӣ ё заҳролуд мебошанд. Агар системаи газопровод нодуруст тартиб дода шуда бошад ва ё материалхо нодуруст интихоб карда шаванд, на танхо тозагии гази дар пункти газ истифодашаванда паст мешавад, балки вай хам вайрон мешавад. Он ба талаботи раванд ҷавобгӯ аст, аммо истифодаи он хатарнок аст ва боиси ифлосшавии корхонаи тоза мегардад ва ба бехатарӣ ва тозагии корхонаи тоза таъсир мерасонад.
Кафолати сифати гази серсоф дар пункти истифода на танхо ба дурустии хосил намудани газ, тачхизоти тозакунй ва фильтрхо вобаста аст, балки ба андозаи зиёд омилхои системаи трубопровод низ таъсир мерасонанд. Агар мо ба таҷҳизоти истеҳсоли газ, таҷҳизоти тозакунӣ ва филтрҳо такя кунем, барои ҷуброн кардани тарҳи нодурусти системаи қубурҳои газ ё интихоби мавод муқаррар кардани талаботҳои беохир баландтар нодуруст аст.
Дар ҷараёни тарҳрезии лоиҳаи 909, мо "Кодекси тарҳрезии растаниҳои тоза" GBJ73-84 (стандарти кунунӣ (GB50073-2001)), "Кодекси тарҳрезии стансияҳои ҳавоии фишурда" GBJ29-90, "Рамз"-ро риоя кардем. барои лоихакашии станцияхои кислородй» GB50030-91 , «Кодекси лоихакашии станцияхои гидроген ва оксиген» GB50177-93 ва тадбирхои дахлдори техникии интихоби масолех ва лавозимоти трубопровод. "Кодекси тарҳрезии нерӯгоҳҳои тоза" интихоби маводи қубур ва клапанҳоро ба таври зерин пешбинӣ мекунад:
(1) Агар тозагии газ аз 99,999% зиёд ё баробар бошад ва нуқтаи шабнам аз -76 °C пасттар бошад, 00Cr17Ni12Mo2Ti қубури аз пӯлоди зангногир камкарбон (316L) бо девори ботинии электрополишшуда ё қубури аз пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) девори дохилии электрополистаро истифода бурдан лозим аст. Клапан бояд клапани диафрагма ё клапани клапан бошад.
(2) Агар тозагии газ аз 99,99% зиёд ё баробар бошад ва нуқтаи шабнам аз -60°C паст бошад, бояд қубури аз пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) бо девори дарунии электрополишшуда истифода шавад. Ба гайр аз клапанхои клапанхое, ки бояд барои газопроводхои сузишворй истифода шаванд, барои дигар газопроводхо клапанхои шарнок истифода шаванд.
(3) Агар нуқтаи шабнамии ҳавои фишурдашудаи хушк аз -70°C пасттар бошад, бояд қубури аз пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) бо девори дарунии сайқалёфта истифода шавад. Агар нуқтаи шабнам аз -40 ℃ паст бошад, бояд қубури аз пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) ё қубури пӯлоди бефосилаи галвании гарм истифода шавад. Клапан бояд як клапан ё клапани шар бошад.
(4) Маводи клапан бояд бо маводи қубури пайвастшаванда мувофиқ бошад.
Мувофиқи талаботи мушаххасот ва тадбирҳои дахлдори техникӣ, мо ҳангоми интихоби маводи қубур асосан ҷанбаҳои зеринро ба назар мегирем:
(1) гузариши ҳавои маводи қубур бояд хурд бошад. Қубурҳои маводи гуногун гузариши ҳавои гуногун доранд. Агар қубурҳои дорои гузариши бештари ҳаво интихоб карда шаванд, ифлосшавӣ нест карда намешавад. Қубурҳои аз пӯлоди зангногир ва қубурҳои мисӣ барои пешгирӣ кардани воридшавӣ ва зангзании оксиген ба атмосфера беҳтаранд. Аммо, азбаски қубурҳои аз пӯлоди зангногир назар ба қубурҳои мис фаъолтаранд, қубурҳои мисӣ барои ворид шудани намӣ дар атмосфера ба сатҳи дарунии онҳо фаъолтаранд. Аз ин рӯ, ҳангоми интихоби қубурҳо барои қубурҳои гази тоза, қубурҳои аз пӯлоди зангногир интихоби аввал бояд бошанд.
(2) Сатҳи дохилии маводи қубур адсорб карда мешавад ва ба таҳлили газ таъсири кам дорад. Пас аз коркарди қубур аз пӯлоди зангногир миқдори муайяни газ дар торчаи металлии он нигоҳ дошта мешавад. Вакте ки гази тозаи баланд аз он мегузарад, ин кисми газ ба чараёни хаво дохил шуда, боиси ифлосшави мегардад. Дар баробари ин, аз ҳисоби адсорбсия ва таҳлил, металл дар сатҳи дарунии қубур низ миқдори муайяни хокаро ба вуҷуд оварда, гази тозаро ифлос мекунад. Барои системаҳои қубур бо тозагии зиёда аз 99,999% ё сатҳи ppb, қубури пӯлоди зангногир 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) бояд истифода шавад.
(3) Муқовимати фарсудашавии қубурҳои аз пӯлоди зангногир нисбат ба қубурҳои мисӣ беҳтар аст ва ғубори металлӣ, ки тавассути эрозияи ҷараёни ҳаво ба вуҷуд меояд, нисбатан камтар аст. Корхонаҳои истеҳсолие, ки ба тозагӣ талаботи баландтар доранд, метавонанд қубурҳои аз пӯлоди зангногир 00Cr17Ni12Mo2Ti камкарбон (316L) ё қубурҳои аз пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) истифода баранд, қубурҳои мис набояд истифода шаванд.
(4) Барои системаҳои қубур бо тозагии гази зиёда аз 99,999% ё сатҳи ppb ё ppt ё дар утоқҳои тоза бо сатҳи тозагии ҳаво N1-N6, ки дар "Кодекси тарроҳии Фабрикаи тоза", қубурҳои ултра тоза ёҚубурҳои ултра тозаи EPбояд истифода шавад. Тоза "найчаи тоза бо сатҳи ботинии ултра ҳамвор".
(5) Баъзе аз системаҳои махсуси қубурҳои газ, ки дар раванди истеҳсолот истифода мешаванд, газҳои хеле зангзананда мебошанд. Қубурҳои ин системаҳои қубур бояд ҳамчун қубур аз пӯлоди зангногир ба зангзанӣ тобовар истифода шаванд. Дар акси хол кубурхо аз зангзанй вайрон мешаванд. Дар сурати пайдо шудани доғҳои зангзанӣ дар рӯи он, қубурҳои оддии бефосила ё қубурҳои пӯлоди кафшери галванӣ истифода намешаванд.
(6) Аслан, ҳамаи пайвастҳои қубурҳои газ бояд кафшер карда шаванд. Азбаски кафшери қубурҳои галванӣ қабати галваниро вайрон мекунад, қубурҳои галванӣ барои қубурҳо дар ҳуҷраҳои тоза истифода намешаванд.
Бо назардошти омилҳои дар боло зикршуда, қубурҳо ва клапанҳои қубурҳои газ, ки дар лоиҳаи &7& интихоб шудаанд, инҳоянд:
Қубурҳои системаи нитрогени баландсифат (PN2) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир аз 00Cr17Ni12Mo2Ti камкарбон (316L) бо деворҳои дарунии электрополишшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи нитрогенӣ (N2) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир камкарбон 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) бо деворҳои дарунии электрополишшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи гидрогении баландсифат (PH2) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир аз 00Cr17Ni12Mo2Ti камкарбон (316L) бо деворҳои дарунии электрополишшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи оксигени баландсифат (PO2) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир камкарбон 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) бо деворҳои дарунӣ бо электрополизшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи Argon (Ar) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир камкарбон 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) бо деворҳои дарунии электрополишшуда сохта шудаанд ва клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод истифода мешаванд.
Қубурҳои системаи гелий (He) аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир аз 00Cr17Ni12Mo2Ti камкарбон (316L) бо деворҳои дарунии электрополишшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи ҳавои фишурдашудаи хушк (CDA) аз қубурҳои пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) бо деворҳои дарунӣ сайқал дода шудаанд ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи нафаскашии ҳавои фишурда (BA) аз қубурҳои пӯлоди зангногир OCr18Ni9 (304) бо деворҳои дарунӣ сайқал дода шудаанд ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи протсесси вакуумӣ (PV) аз қубурҳои UPVC сохта шудаанд ва клапанҳо аз клапанҳои шабпаракҳои вакууми аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи тозакунандаи вакуумӣ (HV) аз қубурҳои UPVC ва клапанҳо аз клапанҳои шабпаракҳои вакууми аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
Қубурҳои системаи махсуси газӣ ҳама аз қубурҳои аз пӯлоди зангногир камкарбондори 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) бо деворҳои ботинии электрополишшуда ва клапанҳо аз клапанҳои пӯлоди зангногир аз ҳамон мавод сохта шудаанд.
3 Сохтмон ва монтажи трубопроводхо
3.1 Боби 8.3-и "Кодекси тарҳрезии бинои тозаи завод" муқаррароти зеринро барои пайваст кардани қубурҳо пешбинӣ мекунад:
(1) Пайвастҳои қубурҳо бояд кафшер карда шаванд, аммо қубурҳои пӯлоди галвании гарм бояд ришта карда шаванд. Маводи мӯҳри пайвастҳои ришта бояд ба талаботи моддаи 8.3.3-и ин мушаххасот мувофиқат кунад.
(2) Қубурҳои аз пӯлоди зангногир бояд тавассути кафшери аргон ва кафшери кунҷӣ ё кафшери розетка пайваст карда шаванд, аммо қубурҳои гази тозаи баланд бояд тавассути кафшери кунҷӣ бидуни аломат дар девори дарунӣ пайваст карда шаванд.
(3) Пайвастшавӣ байни қубурҳо ва таҷҳизот бояд ба талаботи пайвасти таҷҳизот мувофиқат кунад. Ҳангоми истифодаи пайвастҳои шлангҳо, шлангҳои металлӣ бояд истифода шаванд.
(4) Пайвастшавӣ байни қубурҳо ва клапанҳо бояд ба қоидаҳои зерин мувофиқат кунад
① Маводи пломбае, ки қубурҳо ва клапанҳои гази тозаи баландро мепайвандад, бояд мувофиқи талаботи раванди истеҳсолот ва хусусиятҳои газ аз прокладкаҳои металлӣ ё феррулҳои дукарата истифода барад.
②Маводи мӯҳр дар пайвасти ришта ё фланец бояд политетрафторэтилен бошад.
3.2 Мувофики талаботи шарт-номахо ва тадбирхои дахлдори техникй васл кардани газопроводхои соф ба кадри имкон кафшер карда шавад. Ҳангоми кафшер аз кафшери бевоситаи кунҷӣ худдорӣ кардан лозим аст. Отинҳои қубурҳо ё пайвандҳои тайёр бояд истифода шаванд. Отинҳои қубурҳо бояд аз ҳамон мавод ва ҳамвории сатҳи ботинӣ мисли қубурҳо сохта шаванд. сатҳ, ҳангоми кафшер, барои пешгирии оксидшавии қисми кафшер, бояд ба қубури кафшер гази поки муҳофизатӣ ворид карда шавад. Барои кубурхои аз пулоди зангногир кафшери камони аргон истифода бурда, ба кубур гази аргоне, ки як хел пок аст, дохил кардан лозим аст. Пайвасти ришта ё пайвасти ришта бояд истифода шавад. Ҳангоми пайваст кардани фланецҳо бояд барои пайваст кардани риштаҳо феррулҳо истифода шаванд. Ба гайр аз кубурхои кислородй ва водородй, ки бояд прокладкахои металлиро истифода баранд, дар дигар кубурхо прокладкахои политетрафторэтиленй истифода бурда шаванд. Ба газакхо пошидани микдори ками резини силикон низ самарабахш хохад буд. Баланд бардоштани таъсири мӯҳр. Ҳангоми пайваст кардани флангҳо бояд чунин чораҳо андешида шаванд.
Пеш аз оғози кори васлкунӣ, санҷиши муфассали визуалии қубурҳо,арматура, клапанхо ва гайра бояд ичро карда шавад. Пеш аз насб девори дарунии қубурҳои аз пӯлоди зангногир оддӣ бояд бодиринг карда шавад. Ба кубурхо, арматурахо, клапанхо ва гайра аз трубопроводхои кислородй аз равган катъиян манъ карда шуда, пеш аз васл кардан аз руи талабхои дахлдор катъиян аз равган тоза карда шаванд.
Пеш аз насб ва ба истифода додани система, системаи қубурҳои интиқол ва тақсимот бояд пурра бо гази тозаи додашуда тоза карда шавад. Ин на тандо заррадои чангро, ки дар вакти васлкунй ба система тасодуфан афтода буданд, дур мекунад, балки инчунин дар системаи трубопровод роли хушккуниро мебозад, як кисми гази дар таркибашон рутубатдоштаро, ки девори кубур ва хатто масоледи кубур ба худ кашидааст, тоза мекунад.
4. Санҷиши фишори қубур ва қабул
(1) Пас аз насб кардани система, 100% азназаргузаронии радиографии қубурҳои интиқоли моеъҳои заҳролуд дар қубурҳои махсуси газ гузаронида мешавад ва сифати онҳо набояд аз сатҳи II паст бошад. Қубурҳои дигар бояд аз санҷиши радиографии намуна гирифта шаванд ва таносуби санҷиши намуна набояд аз 5% кам бошад, сифаташ набояд аз дараҷаи III паст бошад.
(2) Пас аз гузаштани санҷиши вайроннашаванда, санҷиши фишор бояд гузаронида шавад. Барои таъмини хушкӣ ва тозагии системаи қубур набояд санҷиши фишори гидравликӣ гузаронида шавад, аммо санҷиши фишори пневматикӣ бояд истифода шавад. Санҷиши фишори ҳаво бояд бо истифодаи нитроген ё ҳавои фишурда, ки ба сатҳи тозагии ҳуҷраи тоза мувофиқат мекунад, гузаронида шавад. Фишори озмоишии қубур бояд аз фишори лоиҳавӣ 1,15 маротиба ва фишори озмоишии қубури вакуумӣ 0,2МПа бошад. Ҳангоми санҷиш, фишор бояд тадриҷан ва оҳиста зиёд карда шавад. Вақте ки фишор то 50% фишори озмоишӣ баланд мешавад, агар ягон номутаносиб ё ихроҷ пайдо нашавад, фишорро зина ба зина ба 10% фишори санҷишӣ афзоиш диҳед ва фишорро дар ҳар сатҳ то 3 дақиқа то фишори санҷиш устувор кунед. . Фишорро барои 10 дақиқа мӯътадил созед, пас фишорро то фишори тарҳрезӣ кам кунед. Вақти қатъи фишор бояд мувофиқи эҳтиёҷоти ошкор кардани ихроҷ муайян карда шавад. Агар ягон ихроҷ набошад, агенти кафккунанда мувофиқ аст.
(3) Пас аз он ки системаи вакуумӣ аз санҷиши фишор мегузарад, он инчунин бояд мувофиқи ҳуҷҷатҳои тарроҳӣ санҷиши дараҷаи вакууми 24 соат гузаронад ва сатҳи фишор набояд аз 5% зиёд бошад.
(4) Санҷиши ихроҷ. Барои системаҳои қубурҳои дараҷаи ppb ва ppt, тибқи мушаххасоти дахлдор, ҳеҷ гуна ихроҷ набояд қобили тахассус ҳисобида шавад, аммо санҷиши миқдори ихроҷ ҳангоми тарҳрезӣ истифода мешавад, яъне санҷиши миқдори ихроҷ пас аз санҷиши гузариши ҳаво гузаронида мешавад. Фишор фишори корӣ аст ва фишор барои 24 соат қатъ карда мешавад. Ихроҷи миёнаи соатбайъ аз 50ppm камтар ё баробар аст. Ҳисоб кардани ихроҷ чунин аст:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Дар формула:
Ихроҷи як соат (%)
P1 - Фишори мутлақ дар оғози санҷиш (Па)
P2 - Фишори мутлақ дар охири санҷиш (Па)
T1 - ҳарорати мутлақ дар оғози санҷиш (K)
T2 - ҳарорати мутлақ дар охири санҷиш (K)
Вақти фиристодан: Декабр-12-2023