Дар соҳаҳо ба монанди микроэлектроника, оптоэлектроника ва биофармасевтика,гармкунии дурахшон(BA), намаккунӣ ё пассиватсия (AP),сайқалдиҳии электролитӣ (EP)ва коркарди дуюмдараҷаи вакуумӣ одатан барои системаҳои қубурҳои тоза ва баландсифат, ки муҳити ҳассос ё зангзанандаро интиқол медиҳанд, истифода мешаванд. Маҳсулоти ҳалшуда (VIM+VAR).
A. Электро-сайқалёфта (Электро-сайқалёфта) EP номида мешавад. Тавассути сайқалдиҳии электрохимиявӣ, морфология ва сохтори сатҳро метавон ба таври назаррас беҳтар кард ва масоҳати воқеии сатҳро то андозае кам кардан мумкин аст. Сатҳ як плёнкаи пӯшида ва ғафси оксиди хром аст, энергия ба сатҳи муқаррарии хӯла наздик аст ва миқдори муҳит кам мешавад - одатан барои синфи электронӣ мувофиқ аст.газҳои тозагии баланд.
B. Тафсонидани дурахшон (Bright Annealing) ҳамчун BA номида мешавад. Коркарди гармии баландҳарорат дар ҳолати гидрогенизатсия ё вакуум, аз як тараф, фишори дохилиро бартараф мекунад ва аз тарафи дигар, дар сатҳи қубур плёнкаи пассиватсияро барои беҳтар кардани сохтори морфологӣ ва коҳиш додани сатҳи энергия ташкил медиҳад, аммо ноҳамвории сатҳро зиёд намекунад - одатан барои GN2, CDA ва газҳои инертии ғайрикоркардӣ мувофиқ аст.
C. Бодиринг ва пассиватсияшуда/сайқал додани кимиёвӣ (Бодиринг ва пассиватсияшуда/сайқал додани кимиёвӣ) ҳамчун AP ва CP номида мешаванд. Бодиринг ё пассиватсия кардани қубур ноҳамвории сатҳро зиёд намекунад, аммо он метавонад зарраҳои боқимондаро дар сатҳ тоза кунад ва сатҳи энергияро коҳиш диҳад, аммо шумораи қабатҳои байниқабатро кам намекунад - одатан дар қубурҳои дараҷаи саноатӣ истифода мешаванд.
D. Найчаи тозаи ҳалшавии дуюмдараҷаи вакуумӣ Vim (Vacuum Induction Melting) + Var (Vacuum ArcRemelting), ки бо номи V+V маъруф аст, маҳсулоти ширкати Sumitomo Metal Company мебошад. Он дубора дар шароити камон дар ҳолати вакуум коркард шудааст, ки муқовимати зангзанӣ ва ноҳамвории сатҳро самаранок беҳтар мекунад. Дараҷа - одатан барои газҳои электронии дорои тозагии баланд ва зангзании баланд мувофиқ аст, ба монанди: BCL3, WF6, CL2, HBr ва ғайра. 
Вақти нашр: 08 апрели соли 2024