As нимноқилва технологияҳои микроэлектронӣ ба самти баланд бардоштани самаранокӣ ва ҳамгироии баландтар рушд мекунанд, талаботи баландтар ба тозагии газҳои махсуси электронӣ гузошта мешаванд. Технологияи қубурҳои гази тозагии баланд қисми муҳими системаи таъминоти гази тозагии баланд мебошад. Ин технологияи калидӣ барои интиқоли газҳои тозагии баланд мебошад, ки ба талабот ба нуқтаҳои истифодаи газ ҷавобгӯ мебошанд ва дар айни замон сифати мувофиқро нигоҳ медоранд.
Технологияи қубурҳои тозагии баланд тарҳрезии дурусти система, интихоби арматураҳои қубур ва маводҳои ёрирасон, сохтмон ва насб ва озмоишро дар бар мегирад.
01 Консепсияи умумии қубурҳои интиқоли газ
Ҳамаи газҳои тоза ва баландсифат бояд тавассути лӯлаҳо ба нуқтаи гази терминал интиқол дода шаванд. Барои қонеъ кардани талаботи сифати раванд барои газ, вақте ки индекси содироти газ муайян аст, диққати бештар ба интихоби мавод ва сифати сохтмони системаи лӯлаҳо дода мешавад. Илова бар дақиқии таҷҳизоти истеҳсол ё тозакунии газ, он аз бисёр омилҳои системаи лӯлаҳо таъсир мегирад. Аз ин рӯ, интихоби лӯлаҳо бояд ба принсипҳои дахлдори соҳаи тозакунӣ риоя карда шавад ва маводи лӯлаҳо дар расмҳо қайд карда шавад.
02Аҳамияти лӯлаҳои тозагии баланд дар интиқоли газ
Аҳамияти қубурҳои тозагии баланд дар интиқоли гази тозагии баланд Ҳангоми гудохтани пӯлоди зангногир, ҳар як тонна метавонад тақрибан 200 г газро ҷаббида гирад. Пас аз коркарди пӯлоди зангногир, на танҳо ифлоскунандаҳои гуногун дар сатҳи он часпида мешаванд, балки миқдори муайяни газ дар шабакаи металлии он ҷаббида мешавад. Вақте ки ҷараёни ҳаво аз қубур мегузарад, қисми гази ҷаббида аз ҷониби металл дубора ба ҷараёни ҳаво ворид мешавад ва гази тозаро ифлос мекунад.
Вақте ки ҷараёни ҳаво дар қубур қатъ мешавад, қубур адсорбсияи фишорро дар гази аз он мегузаранда ба вуҷуд меорад. Вақте ки ҷараёни ҳаво аз гузариш бозмедорад, гази аз ҷониби қубур адсорбсияшуда таҳлили коҳиши фишорро ташкил медиҳад ва гази таҳлилшуда низ ҳамчун ифлосӣ ба гази холис дар қубур ворид мешавад.
Дар айни замон, давраи адсорбсия ва таҳлил боиси он мегардад, ки металли рӯи дарунии қубур миқдори муайяни хока ҳосил кунад. Ин зарраи чанги металлӣ инчунин гази холиси қубурро ифлос мекунад. Ин хусусияти қубур хеле муҳим аст. Барои таъмини тозагии гази интиқолшаванда, на танҳо сатҳи дарунии қубур ҳамвории хеле баланд, балки муқовимати баланди фарсудашавӣ низ талаб карда мешавад.
Вақте ки газ хосиятҳои қавии зангзананда дорад, барои қубурҳо бояд қубурҳои пӯлоди зангногири ба зангзанӣ тобовар истифода шаванд. Дар акси ҳол, дар сатҳи дарунии қубур аз сабаби зангзанӣ доғҳои зангзанӣ пайдо мешаванд. Дар ҳолатҳои вазнин, пораҳои калони металл канда мешаванд ё ҳатто сӯрох мешаванд ва бо ин гази холиси интиқолшавандаро олуда мекунанд.
03 Маводи қубур
Интихоби маводи қубур бояд мувофиқи ниёзҳои истифода интихоб карда шавад. Сифати қубур одатан мувофиқи ноҳамвории сатҳи дарунии қубур чен карда мешавад. Ҳар қадар ноҳамворӣ пасттар бошад, эҳтимолияти интиқоли зарраҳо камтар аст. Умуман, онҳо ба се намуд тақсим мешаванд:
Яке ин астҚубури EP дараҷаи 316L, ки ба таври электролитӣ сайқал дода шудааст (Electro-Polish). Он ба зангзанӣ тобовар аст ва ноҳамвории сатҳи паст дорад. Rmax (баландии ҳадди аксар аз қулла то водӣ) тақрибан 0.3 мкм ё камтар аст. Он баландтарин ҳамворӣ дорад ва ташаккули ҷараёнҳои микро-рехта осон нест. Зарраҳои олударо тоза кунед. Гази реаксияе, ки дар ин раванд истифода мешавад, бояд дар ин сатҳ қубурӣ карда шавад.
Яке а астдараҷаи бакалавр 316Lқубур, ки бо Bright Anneal коркард шудааст ва аксар вақт барои газҳое истифода мешавад, ки бо чип дар тамос ҳастанд, аммо дар реаксияи раванд иштирок намекунанд, ба монанди GN2 ва CDA. Яке аз онҳо қубури AP (Табдилдиҳӣ ва интихоб) мебошад, ки махсус коркард нашудааст ва одатан барои маҷмӯи дугонаи қубурҳои беруна, ки ҳамчун хатҳои таъминоти газ истифода намешаванд, истифода мешавад.
04 Сохтмони лӯлаи обгузар
Коркарди даҳони қубур яке аз нуқтаҳои калидии ин технологияи сохтмонӣ мебошад. Буридан ва пешакӣ тайёр кардани қубур дар муҳити тоза анҷом дода мешавад ва дар айни замон, пеш аз буридан, кафолат дода мешавад, ки дар сатҳи қубур ягон доғ ё осеби зараровар вуҷуд надорад. Пеш аз кушодани қубур, бояд барои шустани нитроген дар қубур омодагӣ андешида шавад. Дар асл, кафшер барои пайваст кардани қубурҳои интиқол ва тақсимоти гази тоза ва баландсифат бо ҷараёни калон истифода мешавад, аммо кафшери мустақим иҷозат дода намешавад. Пайвандҳои корпус бояд истифода шаванд ва маводи қубури истифодашуда ҳангоми кафшер бояд тағирот дар сохтор надошта бошад. Агар маводе, ки миқдори аз ҳад зиёди карбон дорад, кафшер карда шавад, гузариши ҳавои қисми кафшер боиси ворид шудани газ дар дохил ва беруни қубур ба якдигар мегардад ва тозагӣ, хушкӣ ва тозагии гази интиқолшавандаро вайрон мекунад, ки ин ба оқибатҳои ҷиддӣ оварда мерасонад ва ба сифати истеҳсолот таъсир мерасонад.
Хулоса, барои қубурҳои гази тозаи баланд ва интиқоли махсуси газ, бояд қубури пӯлоди зангногири тозаи баландсифати махсус коркардшуда истифода шавад, ки ин системаи қубурҳои тозаи баланд (аз ҷумла қубурҳо, арматураҳои қубурҳо, клапанҳо, VMB, VMP)-ро дар тақсимоти гази тозаи баланд вазифаи муҳим мебозад.
Вақти нашр: 26 ноябри соли 2024