Чаро системаҳои интиқоли гази UHP ин қадар муҳиманд?
Дар истеҳсоли нимноқилҳо — равандҳо ба монанди кандакорӣ, CVD, имплантатсияи ионҳо ва литография — газҳои раванд бояд тозагии ултрабаланд, одатан 99.9999% (6N) ё ҳатто 99.99999% (7N) бошанд. Ҳатто ифлоскунандаҳои ночиз дар сатҳи ppb (қисмҳо ба як миллиард) ё ppt (қисмҳо ба як триллион) — ба монанди намӣ ё оксиген — метавонанд боиси камбудиҳои марговар ба монанди тунукшавии оксиди дарвоза, холигии металлӣ ё занҷирҳои кӯтоҳ дар пластинаҳо шаванд, ки эҳтимолан тамоми партияҳоро аз байн мебаранд.
Аз ин рӯ, рисолати системаи интиқоли гази UHP интиқоли газҳо аз манбаъ ба асбоби коркард бидуни вайроншавии тозагӣ ва пешгирии ифлосшавӣ ва ихроҷ дар ҳар нуқта мебошад.
Чаро қубурҳои EP ба сутуни асосии системаҳои UHP табдил меёбанд?
Найчаи EP (электрополисӣ) аз пӯлоди зангногир сохта шудааст, ки раванди сайқалдиҳии электрохимиявиро аз сар мегузаронад ва сатҳи дарунии оинамонандро ба вуҷуд меорад. Ин онро ба "раг"-и ҳатмӣ барои тақсимоти гази UHP табдил медиҳад.
Тозагии ниҳоӣ - Пешгирӣ дар манбаъ
Коркарди EP ноҳамвории сатҳи дохилиро (Ra) то 0,13 мкм – 0,25 мкм ё ҳатто камтар коҳиш медиҳад. Ин анҷоми ултра ҳамвор шикофҳои микроскопӣ ва ҷойҳои адсорбсияро бартараф мекунад ва барои часпидани зарраҳо, ионҳои металлӣ ё намӣ ҷой намегузорад.
Муқовимати зангзании беҳтаршуда - Ҳифзи покӣ
Марҳилаи электросайқалдиҳӣ ифлосҳои рӯизаминиро тоза мекунад ва қабати пассивии бой аз оксиди хромро ташкил медиҳад, ки муқовиматро ба газҳои зангзананда ба монанди Cl₂, CF₄ ва HCl ба таври назаррас беҳтар мекунад. Ин аз зангзании девори қубурҳо, ки метавонад зарраҳо ё ифлосшавии газро ба вуҷуд орад, пешгирӣ мекунад.
Самаранокии беҳтаршудаи ҷараён ва тозакунии зудтар
Девори ҳамвори дохилӣ муқовимати ҷараёнро коҳиш медиҳад ва тозакунии система ва ивазкунии газро суръат мебахшад. Дар равандҳое, ки гузариши босуръати газро талаб мекунанд, ин вақти даврро кӯтоҳ мекунад ва иқтидори истеҳсолиро афзоиш медиҳад.
Маводи олӣ - Стандарти "Тоҷ"
Найчаҳои EP-и баландсифат аз пӯлоди зангногири 316L VIM-VAR (Гудошавии индуксионӣ + Гудозиши камони вакуумӣ) истеҳсол карда мешаванд. Ин раванди дукарата гудозиш покии ниҳоии ҳаҷмии металли асосиро таъмин мекунад, ки шарти асосии ба даст овардани самаранокии ниҳоии EP мебошад.
Сенарияҳои асосии татбиқ
•
Равандҳои асосӣ– Интиқоли газҳои реактивии тозагии баланд барои кандакорӣ, CVD, имплантатсияи ионҳо ва литография.
•
Газҳои махсус– Коркарди бехатари газҳои оташгиранда, заҳролуд ё зангзананда ба монанди SiH₄, PH₃, Cl₂ ва BCl₃. Барои газҳои хеле хатарнок, аксар вақт найчаи EP-и дукарата бо маҳкамкунӣ истифода мешавад (найчаи дохилӣ барои газ, қабати берунӣ барои назорати ихроҷ вакуум карда шудааст ё бо нитроген тоза карда шудааст).
•
Сахтафзори муҳим– Дар панелҳои тақсимоти газ (VMB), шкафҳои газ ва васлкунакҳои асбобҳои коркард, ки дар онҳо сатҳҳои дохилии хеле тоза ҳатмӣ мебошанд, истифода мешавад.
Ғайр аз қубур: Дигар лавозимоти зарурӣ барои системаи пурраи UHP
Барои таъмини якпорчагии комил, система инчунин бояд инҳоро дар бар гирад:
•
Кафшери пурра автоматии мадор– Дар утоқҳои тозаи ISO Синфи 5 (Синфи 100) ё беҳтар иҷро карда мешавад, ки тағйироти кафшери дастӣ ва хатарҳои ифлосшавиро аз байн мебарад.
•
Арматураҳои мӯҳргузории рӯй аз металлҳои пурра– Ба монанди намудҳои VCR® ё W-Seal, ки барои самаранокии беихроҷ ба прокладкаҳои металлӣ такя мекунанд.
•
Тозакунӣ ва бастабандии қатъӣ– Найчаҳои EP одатан бо оби тозаи баланд тоза карда мешаванд, хушк карда мешаванд ва пеш аз он ки ду маротиба дар бастабандии тоза ҷойгир карда шаванд, бо нитроген тоза карда мешаванд, то тозагии "ҳангоми фиристодан"-и онҳо то насб нигоҳ дошта шавад.
Найчаҳои EP танҳо як нақб нест - он хати аввали дифоъ дар интиқоли гази нимноқил аст. Сатҳи ултра ҳамвор, муқовимати аълои зангзанӣ ва тозагии маводи олӣ мустақиман ба ҳосилнокии вафлҳо, эътимоднокии дастгоҳ ва фоиданокии умумии истеҳсолот таъсир мерасонад. Дар ҷаҳони гиреҳҳои зер аз 5 нм ва буҷетҳои камхарҷтари нуқсонҳо, найчаҳои EP ихтиёрӣ нестанд - он асосист.
Вақти нашр: 05 августи соли 2026